Máy cấy ion hydro năng lượng cao song song đầu tiên của Trung Quốc đạt được khả năng trích xuất chùm tia, đánh dấu bước đột phá trong thiết bị sản xuất chip cốt lõi
Ngày 18 tháng 1 năm 2026
Máy cấy ion hydro năng lượng cao song song (POWER-750H) do Trung Quốc tự phát triển đã đạt được khả năng trích xuất chùm tia thành công gần đây. Ảnh: ảnh chụp màn hình từ tài khoản Wechat chính thức của Viện Năng lượng Nguyên tử Trung Quốc
Máy cấy ion hydro năng lượng cao song song (POWER-750H) do Viện Năng lượng Nguyên tử Trung Quốc (CIAE) tự phát triển đã đạt được khả năng trích xuất chùm tia thành công gần đây, với các chỉ số hiệu suất chính đạt mức tiên tiến quốc tế, theo tài khoản Wechat chính thức của CIAE vào thứ Bảy.
Bước đột phá này cho thấy Trung Quốc hiện đã hoàn toàn làm chủ toàn bộ chuỗi nghiên cứu và phát triển công nghệ máy cấy ion hydro năng lượng cao song song, vượt qua nút thắt quan trọng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn công suất. Nó đặt nền tảng vững chắc cho việc thúc đẩy sự phát triển độc lập và có kiểm soát của thiết bị sản xuất cao cấp và bảo đảm an ninh chuỗi cung ứng công nghiệp.
Theo bài báo, cùng với máy in thạch bản, thiết bị khắc và dụng cụ lắng đọng màng mỏng, máy cấy ion được coi là một trong "bốn thiết bị cốt lõi" thiết yếu cho sản xuất chip và không thể thiếu trong sản xuất chất bán dẫn. Sự phát triển thành công của máy cấy ion hydro năng lượng cao là một thành tựu lớn trong việc tích hợp sâu rộng công nghệ hạt nhân và ngành công nghiệp bán dẫn. Nó sẽ tăng cường đáng kể khả năng tự chủ của Trung Quốc trong các lĩnh vực trọng điểm như chất bán dẫn công suất, đồng thời cung cấp hỗ trợ công nghệ mạnh mẽ để đạt được mục tiêu giảm phát thải carbon và trung hòa carbon, cũng như đẩy nhanh quá trình hình thành lực lượng sản xuất chất lượng cao mới.
Trong một thời gian dài, Trung Quốc hoàn toàn phụ thuộc vào nhập khẩu máy cấy ion hydro năng lượng cao từ nước ngoài. Do độ phức tạp kỹ thuật cao và rào cản gia nhập lớn, thiết bị này là một trong những hạn chế chính đối với việc nâng cấp các ngành công nghiệp chiến lược của Trung Quốc. Dựa trên kinh nghiệm tích lũy hàng thập kỷ trong nghiên cứu máy gia tốc vật lý hạt nhân, CIAE đã áp dụng công nghệ máy gia tốc song song làm phương pháp cốt lõi để vượt qua một loạt thách thức kỹ thuật. Bài báo cho biết, viện này hiện đã hoàn toàn nắm vững khả năng thiết kế tiên tiến cho các thiết bị cấy ion hydro năng lượng cao song song, bao gồm mọi thứ từ các nguyên tắc cơ bản đến tích hợp hệ thống hoàn chỉnh, nhờ đó phá vỡ các rào cản công nghệ nước ngoài và các thế độc quyền lâu đời trong lĩnh vực này.
