Hệ thống Khắc chùm tia điện tử thương mại đầu tiên do Trung Quốc sản xuất "Xizhi" bước vào giai đoạn thử nghiệm ứng dụng tại Hàng Châu
HÀNG CHÂU, Trung Quốc – Trong một bước đột phá quan trọng đối với ngành công nghiệp bán dẫn của Trung Quốc, hệ thống khắc chùm tia điện tử (electron beam lithography) thương mại nội địa đầu tiên, có tên "Xizhi", đã chính thức bước vào giai đoạn thử nghiệm ứng dụng. Hệ thống này được phát triển bởi một nhóm nghiên cứu từ Viện Đổi mới Khoa học Công nghệ Lượng tử Hàng Châu thuộc Đại học Chiết Giang, đặt tại Hành lang Đổi mới Khoa học Tây Hàng Châu.
Hệ thống "Xizhi", một nền tảng khắc chùm tia điện tử thế hệ mới 100kV, đánh dấu một bước tiến quan trọng hướng tới sự tự chủ trong thiết bị sản xuất chip cao cấp. Độ chính xác của nó hiện ngang bằng với các thiết bị quốc tế thông dụng, giúp nó được mệnh danh là "con dao mổ Trung Hoa" trong lĩnh vực nghiên cứu và phát triển chip lượng tử.
Tại hiện trường thử nghiệm, nhóm nghiên cứu được quan sát đang miệt mài kiểm tra cỗ máy lớn giống như một tủ thép, với màn hình điện tử hiển thị các thông số theo thời gian thực. Một trưởng nhóm nhấn mạnh khả năng của nó: "Đây không phải là một cỗ máy thông thường; nó là một 'cây bút thần' có khả năng 'khắc' cả một bản đồ thành phố lên một con chip duy nhất!"
Hệ thống được đặt theo tên của nhà thư pháp nổi tiếng Trung Quốc Vương Hi Chi. "'Cây bút' của chúng tôi là một chùm tia điện tử được tập trung để 'viết' các mạch lên chip," một trưởng bộ phận R&D liên quan giải thích. Nó chuyên xử lý các kết nối lõi của chip lượng tử và nghiên cứu vật liệu bán dẫn mới. Sử dụng chùm tia điện tử năng lượng cao, nó có thể "viết tay" các mạch trên silicon với độ chính xác 0,6nm và chiều rộng đường nét 8nm. Thiết kế linh hoạt, không cần mặt nạ (maskless) cho phép tạo mẫu trực tiếp ở quy mô nano trên chip, khiến nó đặc biệt phù hợp cho nhiều lần lặp lại trong giai đoạn R&D sớm của chip.
Trước đây, các thiết bị như vậy chịu sự kiểm soát xuất khẩu quốc tế nghiêm ngặt, khiến các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước không thể tiếp cận. Việc ra mắt "Xizhi" dự kiến sẽ phá vỡ nút thắt này. Được biết, giá của hệ thống thấp hơn mức trung bình quốc tế và công ty đã bắt đầu đàm phán với một số công ty và tổ chức nghiên cứu.
Thành công của "Xizhi" không phải là một sự kiện riêng lẻ mà được thúc đẩy bởi sự kết hợp mạnh mẽ giữa đổi mới công nghệ và cải cách công nghiệp. Sự cộng hưởng này được minh họa rõ nét tại Hành lang Đổi mới Khoa học Tây Hàng Châu. Ví dụ, một dự án thí điểm cấp tỉnh về tích hợp giáo dục, khoa học và nhân tài đã được khởi động vào tháng 7 tại Công viên Kinh tế Trụ sở Doanh nghiệp Cựu sinh viên Đại học Chiết Giang ở quận Dư Hàng. Tại đây, trường đại học và khu kinh tế đã thiết lập một con đường thương mại hóa kết quả nghiên cứu: các doanh nghiệp cung cấp "danh sách nhu cầu kỹ thuật", và các giáo sư, nghiên cứu sinh của Đại học Chiết Giang thành lập các nhóm để "giải quyết vấn đề", hỗ trợ hành trình từ phòng thí nghiệm đến sản xuất hàng loạt.
Mô hình tích hợp này đang trở thành tiêu chuẩn. Tại Thành phố Khoa học Tương lai (Lương Chử), một trạm làm việc cho các học giả đã được thiết lập để kết nối liền mạch với nhu cầu kinh doanh. Hành lang liên tục triển khai các lời kêu gọi cho các dự án xác minh khái niệm xuất sắc, mở ra con đường thương mại hóa thành công. Trong tương lai, hành lang sẽ tiếp tục đẩy mạnh việc tích hợp các công nghệ mới, tăng tốc các đột phá trong các lĩnh vực then chốt và thúc đẩy quá trình chuyển đổi hiệu quả các thành tựu khoa học thành năng suất thực tế.
*Nguồn: Hangzhou Daily | Thời gian: 14-08-2025*
