HyET Hydrogen Hoàn Thành FAT Hệ Thống Tái Chế Hydrogen Cho Ngành Bán Dẫn, Mở Đường Giảm Chi Phí Khí Siêu Tinh Khiết

Ngày 16/04/2026
Biên tập: Annie Nguyễn

Công ty công nghệ hydrogen Hà Lan HyET Hydrogen đã hoàn tất thử nghiệm nghiệm thu tại nhà máy (Factory Acceptance Test – FAT) cho hệ thống tinh lọc và tái chế hydrogen phục vụ ngành sản xuất bán dẫn, đánh dấu bước tiến quan trọng trong thương mại hóa giải pháp tái sử dụng hydrogen siêu tinh khiết (UHP) trong các nhà máy chip.

Hệ thống được phát triển cùng tập đoàn khí công nghiệp Nhật Bản Nippon Sanso, nhằm thu hồi hydrogen sau sử dụng trong quá trình sản xuất bán dẫn thay vì xả bỏ như thông lệ hiện nay. Công nghệ này cho phép tái tinh lọc và đưa hydrogen quay trở lại dây chuyền sản xuất với độ tinh khiết đạt chuẩn bán dẫn.

Theo HyET Hydrogen, giải pháp điện hóa sử dụng màng trao đổi proton (PEM) có thể giảm chi phí tinh lọc hydrogen xuống chỉ còn khoảng 15–20% so với các công nghệ tinh lọc hydrogen siêu tinh khiết truyền thống hiện nay, đồng thời giúp giảm đáng kể lượng hydrogen thất thoát trong các fab bán dẫn.

Ngành bán dẫn là một trong những lĩnh vực tiêu thụ hydrogen độ tinh khiết cực cao lớn nhất thế giới, đặc biệt trong các quy trình lắng đọng hơi hóa học và xử lý wafer. Việc tái chế hydrogen tại chỗ đang trở thành ưu tiên mới khi giá khí công nghiệp tăng và áp lực giảm phát thải carbon ngày càng lớn đối với chuỗi cung ứng điện tử toàn cầu.

HyET cho biết sau FAT thành công, Nippon Sanso dự kiến tích hợp công nghệ này vào mạng lưới cung ứng khí chuyên dụng cho khách hàng bán dẫn toàn cầu, mở ra cơ hội triển khai tại các trung tâm sản xuất chip lớn ở châu Á, châu Âu và Bắc Mỹ.